Mikro-elektro-mekanik
sistemler (MEMS) birçok uygulama için önemli bir teknolojidir ve çeşitli
alanlardaki işlevler için uzun yıllardır kullanılmaktadır. Bu eski bir
teknoloji olsa da, üretim teknolojisindeki ilerlemeler sayesinde, giderek
özellikler daha güçlü, cihazlarsa daha küçük hale gelmekte ve daha fazla
malzeme ile MEMS üretilebilmektedir. Birçok farklı malzemeyle daha fazla
özellik, yapı ve cihazın üretilebiliyor olması MEMS için geniş bir uygulama sahası
imkanı doğurmuştur.
Güzel ve faydalı bir video linki veriyorum: (TIKLAYINIZ)
MEMS, işlevsel
bileşenler oluşturmak için hem mekanik hem de elektrikli bileşenleri bir araya
getiren küçük entegre sistemlerdir. MEMS'in çeşitli unsurlarını üretmek ve tüm
ayrı bileşenler için kullanılan malzemelerin bileşimini yapılandırmak ve
değiştirmek için birçok farklı süreç vardır. Bunlar, elektronik bileşenlerin
üretimi için entegre devrelerin kullanımından mekanik bileşenlerin üretimi için
çeşitli gelişmiş mikro işleme, litografi ve biriktirme yöntemlerine kadar
uzanmaktadır.
Yüzeysel Mikroimalatlı MEMS Rezonatör ( Firma: MNX ) |
MEMS cihazları,
bir silikon çip üzerinde birçok farklı mekanik mikro yapı, mikro sensör, mikro
aktüatör ve mikroelektronik içermektedir. MEMS'teki çok sayıda bileşen
nedeniyle, onunla oluşturulan tüm bileşenler mikro düzeyde algılama, kontrol ve
harekete geçirme işlevlerine yönelik olarak tasarlanabilirken makro düzeyde
işlevler ve avantajlar da sunarlar. Örneğin, MEMS kullanılarak optik,
radyasyon, termal, manyetik, kimyasal ve mekanik aktüatörler de dahil olmak
üzere birçok farklı aktüatör geliştirilmiştir. MEMS cihazlarının bu geniş
yelpazesi ve kullanılabilecek bileşen ve malzeme sayısı göz önüne alındığında,
MEMS için özellikle endüstriyel, otomotiv, fotonik, yaşam bilimleri ve RF
sektörlerinde birçok önemli uygulamasının bulunduğu görülecektir.
Mikroelektrostatik (Comb-Drive) MEMS Rezonatör |
MEMS uygulamalarının yelpazesi burada sunulabileceklerin ve hatta MEMS'in gerçek tanımının çok ötesine geçmektedir. MEMS'i diğer karmaşık sistemlerden ayıran tanımlanmış özellikler olsa da, mikrometre boyutundaki cihazları kullanan diğer entegrasyon teknolojileri ve bunların kullanıldığı alanlarla da bazı örtüşmeler vardır. Bu nedenle, MEMS ve diğer benzer entegrasyon sistemleri genellikle mikrosistem teknolojileri (MST) terimi altında özetlenmektedir. Bunun bir örneği MEMS'e benzeyen mikro-opto-elektromekanik sistemlerdir (MOEMS). Bununla birlikte, mekanik ve elektronik bileşenlere ek olarak MOEMS, belirli işlevleri yerine getiren ve bileşene farklı makro özellikler ve işlevsel kapsamlar kazandıran minyatürleştirilmiş optik donanım ve özellikler de kullanır.
MEMS, birçok
farklı elektronik ve mekanik bileşen içeren ve bu bileşenlere dayalı farklı
işlevlere sahip karmaşık ve çok yönlü sistemlerdir. MEMS için kullanılabilecek
çok çeşitli malzeme ve bileşenler nedeniyle, endüstriyel üretim, otomotiv,
yaşam bilimleri, RF, optik ve fotonik dahil olmak üzere birçok farklı sektörde
çok sayıda uygulama için tasarlanmış ve geliştirilmiştir. Üretim
yöntemlerindeki ilerlemelerin her zamankinden daha büyük işlevselliğe sahip
daha küçük boyutlara yol açmasıyla, uzun yıllardır mevcut olan MEMS
uygulamalarının kapsamının büyümeye devam etmesi muhtemeldir.